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AXETRIS
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Infrarotquellen
Die elektrisch modulierten Infrarotquellen von Axetris bieten ein hohes Emissionsvermögen mit echter Schwarzkörperstrahlung und langer Lebensdauer.
Massenflussgeräte
Die Massenflussmesser und -regler für Gase von Axetris basieren auf MEMS-Chip-Technologie und bieten hohe Genauigkeit mit einem grossen Messbereich.
Laser-Gasdetektion
Die Laser-Gasdetektions-Module von Axetris messen Gase optisch und kontaktlos mit hoher Selektivität und Nachweisgrenzen im sub-ppm-Bereich.
Mikro-Optik
Axetris bietet qualitativ hochwertige und kostengünstige Fertigung von kundenspezifischen Mikrolinsen und diffraktiven optischen Elementen aus Silizium und Quarzglas.
Wafer-Fertigungsdienstleistungen
Axetris bietet Fertigungs-Dienstleistungen für Wafer-Prozesse wie Lithographie, Ätzen und Dünnfilmabscheidung und -strukturierung auf 150/200mm-Wafern an.
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